Hãng sản xuất: Mahr

Model: CWM 100

Thông số kỹ thuật

– Phương pháp đo: Bằng giao thoa kế,Kính hiển vi đồng tiêu và đồng tiêu

– Nguồn sáng (CM and WLI): LED, 505 nm

– Dải đo: Đơn vị cảm biến có thể được di chuyển 100 mm theo trục Z, được điều khiển bằng CNC

– Bàn có thể được di chuyển 100 mm theo trục X và Y, điều khiển bằng CNC

– Giao thoa kế, giao thoa kế ánh sáng trắng:

– Dải đo (WLI): Hơn 4 mm (Chế độ tiêu chuẩn), hơn 20 mm (chế độ mở rộng)

– Kính hiển vi đồng tiêu:

– Dải đo (CM):hơn 12 mm (tùy thuộc vào độ phân giải ở Z và ống kính
Cung cấp bao gồm:

– Hệ thống cảm biến bao gồm:

– Kính hiển vi đồng tiêu & WLI with 6x ống nghe

– Camera, 780 x 580 pixels, lên đến 48 hình ảnh/s (phiên bản tiêu chuẩn)

– Trục Z điều khiển CNC 100 mm với cân kính Heidenhain tích hợp

– Một phần mềm điều hành với WLI và các modules phần mềm đồng bộ

– Khung và cột cơ sở Granite với hệ thống cảm biến và bàn điều khiển CNC

– Trục Z được điều khiển bằng CNC và bảng XY để định vị đầu đo và hợp nhất trường hình ảnh

– Lenses (optional)

+) 4x to 150x (Kính hiển vi đồng tiêu)

+) 2.5x to 100x (Kính hiển vi đồng tiêu)